等離子清洗機中的等離子體是物質的一種存在狀態(tài),，通常物質以固態(tài),、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在,，但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在，如地球大氣中電離層中的物質。等離子體狀態(tài)中存在下列物質：處于高速運動狀態(tài)的電子,；處于激活狀態(tài)的中性原子,、分子、原子團（自由基）,；離子化的原子,、分子；未反應的分子,、原子等,，但物質在總體上仍保持電中性狀態(tài)。

　　在真空腔體里,，通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產生高能量的無序的等離子體,，通過等離子體轟擊被清洗產品表面。以達到清洗目的,。

等離子清洗機清洗原理：

　　1.激活鍵能，交聯(lián)作用

　　等離子體中的粒子能量在0~20eV,，而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV,，因此等離子體作用到固體表面后,，可以將固體表面的原有的化學鍵產生斷裂，等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結構,，大大地激活了表面活性。

　　2.對材料表面的刻蝕作用--物理作用

　　 等離子清洗機中的大量離子,、激發(fā)態(tài)分子,、自由基等多種活性粒子,，作用到固體樣品表面,，不但清除了表面原有的污染物和雜質,，而且會產生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙,，形成許多微細坑洼，增大了樣品的比表面,。提高固體表面的潤濕性能,。

　　3.形成新的官能團--化學作用

如果放電氣體中引入反應性氣體,，那么在活化的材料表面會發(fā)生復雜的化學反應，引入新的官能團,，如烴基,、氨基、羧基等,，這些官能團都是活性基團,，能明顯提高材料表面活性。