型號：AV-P30
設(shè)備外形尺寸：長x寬x高= 2380*2150*2200mm
真空腔體尺寸：長x寬x高= 1445*1265*1055mm
最大處理尺寸：長x寬= 1120*635mm
最大處理層數(shù)：15層
輸入電壓：三相交流380V 50Hz
輸出頻率：40KHz
輸出功率：10Kw
放電真空度：20Pa-80Pa
可加載氣體：四種(O2, N2, H2, CF)
產(chǎn)品特點：
采用上進(jìn)氣下抽氣的方式,，專利的抽氣擋板保證優(yōu)良的均勻性,。
具有缺氣,、壓力保護(hù),、電路保護(hù)等安全保護(hù)系統(tǒng)。
電極板用整塊鋁板中間鏤空,，冷卻通道采用深鉆孔方式結(jié)合內(nèi)部 特定位置截流,，引導(dǎo)冷卻水按規(guī)定方向運(yùn)行，保證溫度均勻性,。
采用兩路水路,，分別單獨給真空腔體和干泵確保冷卻效果。
