真空等離子清洗機(jī)體系由反響腔室（真空腔體）,、高頻等離子電源和真空泵組（抽真空體系）,、充氣體系及自動(dòng)操控體系（觸摸電腦+PLC多步流程全自動(dòng)操控,全電路檢測(cè)）等部分組成,，等離子體是物質(zhì)的一種存在狀況，也叫第四種狀況（通常物質(zhì)以固態(tài),、液態(tài),、氣態(tài)三種狀況存在），如地球大氣中電離層中的物質(zhì),。
真空等離子清洗體系就是使用高壓電源在一定的壓力條件下對(duì)氣體施加滿足的能量,，然后產(chǎn)生等離子體，等離子體狀況中存在下列物質(zhì)：處于高速運(yùn)動(dòng)狀況的電子,；處于激活狀況的中性原子,、分子、原子團(tuán)（自由基）,；離子化的原子,、分子；未反響的分子、原子等,，但物質(zhì)在總體上仍堅(jiān)持電中性狀況,。等離子體在電磁場(chǎng)的效果下高速運(yùn)動(dòng)，沖擊物體外表,，起到清洗,、刻蝕、活化,、改性的意圖,。
等離子清洗機(jī)選用高自動(dòng)化程度的數(shù)控技術(shù)，選用高精度的操控設(shè)備以確保時(shí)間的準(zhǔn)確操控,，同時(shí)在真空中清洗,，不會(huì)在外表產(chǎn)生損傷層，確保清洗外表不被二次污染,，外表質(zhì)量得到確保,。
等離子清洗體系在世界有三種通用頻率
40KHz、13.56MHz和2.45GHz,，不同的頻率對(duì)工件的處理效果不同,，如下分析：
激起頻率為40kHz的等離子體為超聲等離子體，其產(chǎn)生的反響為物理反響,，使用于大腔體,，特點(diǎn)是等離子能量高，可是等離子密度小,，無(wú)需匹配,，本錢較低。慣例是5千瓦至20千瓦,。
激起頻率為13.56MHz的等離子體為射頻等離子體,，其產(chǎn)生的反響既有物理反響又有化學(xué)反響,；Z常用的電源,，特點(diǎn)是等離子能量低，可是等離子密度高,。效果均勻,，而本錢稍高。慣例是100瓦至1000瓦,。
激起頻率為2.45GHz的等離子體為微波等離子體,，其產(chǎn)生的反響為化學(xué)反響本錢太高，目前使用較少
一,、等離子清洗機(jī)效果
1,、激活鍵能-交聯(lián)效果
等離子體中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV,，因而等離子體效果到工件外表后,，能夠使工件外表的原有的化學(xué)鍵產(chǎn)生開(kāi)裂,，等離子體中的自由基與這些鍵構(gòu)成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu)，大大地激活了外表活性,。
2,、對(duì)資料外表炮擊-物理效果
主要是使用等離子體里很多的離子、激起態(tài)分子,、自由基等多種活性粒子作純物理的碰擊,，把工件外表的原子或附著工件外表的原子打掉，不但清除了工件外表原有的污染物和雜質(zhì),，而且會(huì)產(chǎn)生刻蝕效果,，將工件外表變粗糙，構(gòu)成許多微細(xì)坑洼,，增大了工件外表的比外表積,，進(jìn)步固體外表的潮濕功能。因?yàn)殡x子在壓力較低時(shí)的均勻自由基較輕長(zhǎng),，得到能量的累積,，因而在物理碰擊時(shí)，離子的能量越高,，越是有更多能量作碰擊,，所以若要以物理效果為主時(shí)，就必須操控較低的壓力下來(lái)進(jìn)行反響,，為了確保較低的壓力,，需求繼續(xù)通入空氣或者其他氣體，這樣清洗效果較好
3,、構(gòu)成新的官能團(tuán)--化學(xué)效果
化學(xué)效果其反響機(jī)理主要是使用等離子體里的自由基來(lái)與資料外表做化學(xué)反響,，頻率和壓力較高時(shí)，對(duì)自由基的產(chǎn)生較有利,，所以若要以化學(xué)反響為主時(shí),，就必須配備較高的頻率和較高的壓力來(lái)進(jìn)行反響。
在化學(xué)反響里常用的氣體有氫氣（H2）,、氧氣（O2）,、甲烷（CF4）等，這些氣體在等離子清洗機(jī)內(nèi)反響成高活性的自由基,，引入反響性氣體,，那么在活化的資料外表會(huì)產(chǎn)生復(fù)雜的化學(xué)反響，引入新的官能團(tuán),，如烴基,、氨基、羧基等，這些官能團(tuán)都是活性基團(tuán),，能明顯進(jìn)步資料外表活性,。
需求特別闡明的是，有一些工件處理既需求物理效果,，也需求化學(xué)效果,，這個(gè)時(shí)分應(yīng)該選用頻率是13.56MHz系列。
二,、等離子清洗機(jī)的四大使用
1,、清洗
工藝部件的外表經(jīng)過(guò)等離子束的物理炮擊而被清洗，其外表也能夠與特定氣體產(chǎn)生化學(xué)反響從而使被清洗污染物轉(zhuǎn)化為氣相被排出,。
A使用：去除油脂,、油、氧化物,、纖維,；去除硅氧樹(shù)脂；綁定,、焊接,、粘結(jié)前的預(yù)處理；金屬部件涂裝前的預(yù)處理,。
B適用部件：簡(jiǎn)直一切的資料都能使用等離子進(jìn)行精密清洗,，典型的有電子元件；橡膠-金屬連接件,；開(kāi)關(guān),；傳感器；醫(yī)用植入件,；微小部件,；O型密封圈；螺旋,；激光部件,。
2、外表激活,、改性
工件在等離子腔體內(nèi)能夠通入氧氣或者空氣對(duì)其外表進(jìn)行激活,，資料外表會(huì)構(gòu)成氧原子團(tuán),，增強(qiáng)外表的粘結(jié)力,、結(jié)合力。
A使用：粘接前的預(yù)處理,；涂裝前的預(yù)處理,；印刷前的預(yù)處理。
B適用部件：簡(jiǎn)直一切資料都能經(jīng)過(guò)等離子被激活，典型有傳感器,；半導(dǎo)體資料,；導(dǎo)管；車大燈反射鏡,；橡膠,；鋁鍍膜；石墨膜,；PDMS等,。
3、蝕刻
工件外表被激起的等離子體蝕刻,，經(jīng)過(guò)等離子濺射,，炮擊，外表資料被剝離,，轉(zhuǎn)變成氣相并被排出,，資料外表的比外表積增大并濕潤(rùn)，蝕刻效應(yīng)使用于印刷,、粘接,、涂裝前的預(yù)處理以及使資料粗糙化。
A使用：硅蝕刻,；PTFE蝕刻,；改善進(jìn)步耐高溫塑料關(guān)于涂料和粘結(jié)劑的附著性，如：PTFE,FPA,FEP,；去除光刻膠,。
B適用部件：塑料；半導(dǎo)體,；玻璃,；去除部件封裝；醫(yī)療器械,；電路板,。
4、涂層
工件被導(dǎo)入等離子反響腔,，等離子使氣體原子化并使其沉淀在工件的外表,。
A使用：疏水層的堆積；親水層的堆積,；維護(hù)或絕緣層的堆積,；防擴(kuò)散層。
B適用部件：一切的工業(yè)資料,；典型的有金屬,；玻璃,；陶瓷
